機能

薄膜材料データベースMEMaterial -機能

MEMaterial機能

多元評価ルーチン

材料特性はいくつかの製造パラメータに依存して変化します。
例えば、プラズマCVDにより成膜される窒化シリコンの特性値は8つの製造パラメータ(装置によるセッティング)に依存します。
従って、マイクロ電子材料の材料特性を調べる場合は複数の製造パラメータを用いて多元的に解析する必要があります。
MEMaterialは材料特性の多元評価・最適化ルーチンを備えており、どのような製造パラメータの組み合わせに対しても測定データを基にした材料特性を解析・計算することができます。

材料データベース

MEMaterialはマイクロ電子材料に関するデータベースを備えています。
データベース中には文献や権威ある機関より集められた数多くの情報が含まれております。
すべての材料情報は独自の検定プロセスを通して信頼性確保に努めております。
また、材料情報のすべての出典元は、MEMaterial中で参照できます。

オープンアーキテクチャ

ユーザが所有している材料データをMEMaterialの材料データベース中に含めて解析することができます。
また、ユーザは製造パラメータと材料物性値のインデックスを新たに追加することもできます。
これによりユーザが独自にカスタマイズしたオンラインの材料データベースを容易に構築することができます。

ビジュアライゼーション

MEMaterialは材料情報を表や2次元・3次元グラフによりビジュアルに表示します。
MEMaterialは材料特性の製造パラメータに対する依存性を種々のグラフを通して調べることができます。

単位系の変換機能

MEMaterialではユーザが自由に単位系(メートル単位系、英国単位系またはカスタム単位系)を設定し利用することができます。
ユーザは必要に応じて単位系をカスタマイズでき、異なる単位系との間で即座に切りかえることができます。

FEAパッケージへの統合化

MEMaterialはABAQUSやANSYSのような有限要素法パッケージにインポート可能なファイルを生成することができます。

グラフィカルユーザインターフェース

MEMaterialはインタラクティブでユーザフレンドリーなインターフェースを提供しています。
MEMaterialの操作はとても簡単であり、特別な予備知識なしでも直感的にシステムを操作することができます。


(左図:温度、圧力に対する残留応力のコンター図、右図:温度、圧力に対する蜜路の3次元グラフ)