機能
マルチスケールトータルエッチングシミュレータIntelliEtch -機能
機能
- キネティックモンテカルロ法、セルラーオートマトン法(Bacic CA, Simple CA, Continuous)
- GPUを使用した計算処理 new
- 様々な実験値データベース (KOH, KOH+IPA, TMAH, TMAH + Trioton)
- 100,110,111面のためのエッチングレートの設定(SCA使用)
- 等方性エッチング
- エッチングレートの可視化、修正(ERV使用)
- 新しいボリュームレンダリング可視化方法
- 両面からのエッチングシミュレーション
- 距離、角度、ミラー指数の計測
- エッチング液中に添加物を加えたシミュレーション new
- FEAモデルへのエクスポート機能
- 水晶のエッチングシミュレーション機能 new
特徴
- 高次面まで高精度でシミュレーションが可能
- AB-initio効果を考慮した解析が可能
- 信頼性の高いデータベース
- ユーザーフレンドリーなインターフェース
AB-initioを考慮したシミュレーションを行った場合、考慮しなかった場合と比較して
精度よくシミュレーションが行われていることが確認できる。