Wetエッチングのエッチレートはエッチング液の種類や温度、装置など様々な要因によって変化します。そのため、全ての条件を網羅したデータベースを整えることは困難です。
IntelliEtchでは自社設備で行ったWetエッチング加工結果からのエッチレート抽出、データベース化により、自社設備のエッチレートデータベースを構築することが可能です。
データベースの構築により、精度の高いエッチングシミュレーションの実現のみならず、技術者の定量的な指針として活用することで社内技術の均一化に役立てることが可能です。

エッチレートのデータベース

GPUで解析を行うことで、同じモデル条件でCPUを用いて解析を行った場合と比較して、約150倍以上の高速に解析を行うことが可能です。