解析事例

3D physical プロセスシミュレータFabSim -解析事例

複合プロセスフローのフォトレジストによる壁面保護プロセスモデル

SCREAMプロセスモデルのシミュレーション結果形状


サファイヤのWetエッチングシミュレーション事例
FabSim_Sapphire1
FabSim_Sapphire2

シリコンフォトニクス向けInPのWetエッチングシミュレーション事例


FabSim_InP