機能

薄膜モデラー3DBuilder -機能

3DBuilder-三次元形状からマスクデータ
3DBUider-FEMモデルを作成

特徴

  • マスクのインポート/エクスポート可能
  • 薄膜構造に特化したインターフェイス
  • MEMSデバイスを容易に作成可能
  • メッシュの直接制御
  • マスク、プロセス情報を元にしたオートメッシュ作成機能