MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite

MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite -製品概要

IntelliSuiteは、半導体素子の製造工程を利用したマイクロマシン(MEMS)の製造工程の検討から、デバイスの性能評価まで一貫して検討することを目的とした、統合型の設計・解析ソフトウェアです。

MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite

IntelliSuite IntelliSuite

IntelliSuiteは以下の点でMEMS専用として特化しています。

  • ファブリケーションシミュレーションの装備
  • プロセスによる薄膜物性の違いを考慮
  • 異方性Wet,Dryエッチングシミュレーターを装備
  • MEMSデバイス専用モデリングツール
  • マスクファイルの作成/インポート/エクスポート
  • MEMS専用解析ソルバー
  • MEMSパッケージ解析
  • MEMS動的システムモデル抽出
  • MEMS用システム解析
  • MEMS構造パラメータシステム解析
  • MEMSコストシミュレーション

IntelliSuiteによるMEMS設計

 MEMS用統合設計ツールIntelliSuiteは、ユーザーのMEMSデバイスの製造工程、現象の素早い理解を促し、デバイス設計に素早く反映することを可能とするCAEツールです。その機能は、数値解析シミュレーションとしてMEMSデバイスに特化するに止まらず、他の機能を活用することで、さらに効率的なMEMSデバイス開発を行うことを可能とするTotal MEMS ソフトウェアとしての機能を有しています。

 その一つとして、IntelliSuiteはMEMS設計における、プロセス設計、デバイス構造設計のボトムアップ設計とシステム設計、概略設計、コスト設計のトップダウン設計を統合することを可能としています。トップダウン手法による設計選択の迅速で広範囲な探索、ボトムアップ手法による製造のための精度の高い設計。IntelliSuiteは、それらを独自の方法で統合し、製品の迅速かつ的確な開発、改良のための設計環境を提供します。

 また、MEMSデバイス開発を目的としたソフトウェアツールであるため、その開発コンセプトに『MEMSデバイス開発者のための解析ツール』があります。これは、数値解析の専門家のみが使用するのではなく、実際にMEMSデバイス作成を手掛けている方々に使用していただき、効率的、かつ専門的なMEMSデバイス開発を実現するためです。これにより、汎用性を持たせることによる弊害の排除、数値解析におけるユーザー負担の軽減を実現し、効率的な解析結果の取得を促すことで、MEMS開発における負担の軽減を実現しています。

IntelliSuiteデータリンク

IntelliSuiteの利点

IntelliSuite

  • MEMSデバイスの最適化
  • 試作回数、開発期間、コストの削減
  • 開発の効率化・高速化
  • MEMS事業運営のサポート
  • MEMS設計データの蓄積、知識の共有化
  • 各設計部署間のシームレスなデータ共有、連携

IntelliSuiteの機能構成

トップダウン設計

システム設計、概略設計、コスト設計からのアプローチを行います。IntelliSuiteが持つ最先端の概略解析、把握ツールは、MEMS開発、設計者に設計領域に対しての階層的なアプローチを提供します。IntelliSuiteのモジュールの一つであるSYNPLEは、電気、機械、熱、セル、ニューロン、コストの大規模で複合的なライブラリー、そしてMEMSライブラリーを提供します。これらの要素は、ドラッグアンドドロップとワイヤー接続の容易なオペレートによる、マルチスケール、マルチドメインシステムモデルの作成で統合されます。その結果、詳細な解析、プロセス検証を行う前に、迅速に広大な領域の設計領域に対して調査することが可能です。

ボトムアップ設計

プロセス設計、デバイス構造設計など具体的な設計を行います。
IntelliSuiteのボトムアップ設計の構成は、フォトリゾグラフィのようなプロセス、薄膜のデポジション、エッチングによる最終的なデバイス構造の形成を理解するための、プロセス要素を基にしています。IntelliSuiteでのシステム化された試作モデルの作成により、時間と費用を抑えながらファブでの実行前に、プロセスのバグを特定することが可能です。マスク形状と統合されたプロセスステップは、最終的な仮想デバイスの作成に使用されます。(解析熟練者は、汎用CADプログラムから3次元構造を入力することも可能です。) さらにユーザーは、MEMSモデルを解析するために統合された熱-電場-構造連成解析、電磁場解析、流体解析などを使用することが可能です。

モジュール早見表

IntelliSuiteのモジュール、機能概略、そして、「プロセスエンジニア向け」、「マスクエンジニア向け」、「システムエンジニア向け」、「デバイス設計者向け」の4タイプ適用モジュール早見表です。

MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite v8.7リリース情報

Woburn, MA – February 6, 2012 –

IntelliSense社は、MEMS生産現場を牽引するソフトウェアの新バージョンIntelliSuite v8.7のリリースを発表しました。IntelliSuite v8.7は、IntelliSuiteのほぼすべてのモジュールへの改良を含んでおり、いくつかの草分け的な業界初の新機能を取り入れます。
日本での正式リリースは3月以降を予定しております。

「すべてのIntelliSuiteモジュールはIntelliSuite v8.7でバージョンアップされました」
Joe Johnson氏 (IntelliSense社ビジネス・ディベロップメント・マネージャー)

「ユーザーは、IntelliSuiteの大幅なバージョンアップに驚くことでしょう。IntelliSuiteはより使いやすくなり、同時に正確さ、安定性および速度改良から、業界初の斬新な機能の追加まで果たし、v8.7は今までで最も優れたバージョンと言っても過言ではありません」

「さらに、最新バージョンに加えて、私たちはFabSimとExposureを開始しています。2つの新しいプロセスシミュレータは、プロセスエンジニアの作業をより容易にするでしょう」 とJohnson氏。

「FabSimは、ユニークなプロセスフローシミュレータです。大まかなプロセス・エミュレーションを受け入れるのではなく、ユーザーによる物理的なファブリケーションプロセスの完全なシミュレーションを可能とします。Exposureは、強力なリソグラフィシミュレータです。ユーザーは数分で十分なリソグラフィプロセスのシミュレーションが可能になるでしょう」

IntelliSuite v8.7の新機能:

ExposureTM

Exposureは、IntelliSuiteの持つプロセスシミュレーションツール間の強力な連携への新しい追加機能です。
このDeep resist/SU8 シミュレータは、露光、露光後焼き締め(PEB: Post-Exposure Bake)と現像のリソグラフィプロセスの正確なモデル化を可能とします。
ダイナミックセルラーオートマトンシミュレータと内蔵された材料データベースが、安定、高速なリソグラフィシミュレーションを実現します。

FabSimTM

IntelliSenseは、DRIEエッチングシミュレーション用のRECIPE(2005年製品化)、ウェットエッチングシミュレーション用のIntelliEtch(2008年製品化)、AnisE(1997年製品化)およびリソグラフィシミュレーションのためのExposureなどのツールと共に、長い間MEMSプロセスの物理プロセスシミュレーション分野の先駆者でした。
これらすべての機能性は、IntelliSuiteのフラグシップ:新プロセスシミュレーターFabSimに統合されます。
FabSimによりユーザーは、単純なプロセス・エミュレーションではなく、十分な物理シミュレーションを使用した写実的なプロセス・モデルと断面形状を素早く作成することが可能となります。

IntelliEtchTM

業界で最も強力なウェットエッチングシミュレータは、現在、シリコンに加えて水晶の異方性エッチングをシミュレートすることが可能です。
高次面エッチング、複合マスクエッチングのような機能が、大幅なインターフェイスのアップデートにより容易に実行されるようになります。
新しいGPUを用いるシミュレータは、ウェットエッチングシミュレーションをCPUバージョンより100倍以上高速に実行することが可能です。
また、Si、水晶以外の材料への拡張対応も行っています。

3DBuilderTM/HexpressoTM

IntelliSuiteの最新鋭のオートメッシュ生成ツールは、再度、最先端の進歩によりアップデートされました。 3Dメッシュモデル生成の際、材料特性と境界条件は自動的に反映されます。
新しい適応メッシュ作成とメッシュリファイン設定は、オートメッシュ作成工程のユーザーによる十分な制御を可能とします。
メッシングは、より高速かつ強固になりました。

ThermoElectroMechanical Analysis ModuleTM

独自の多重物理場シミュレータはIntelliSuite v8.7において、いくつかの強力なアップデートを受けました。
新しい複合パッケージデバイスシミュレーションの機能拡張は、MEMSデバイスのパッケージ効果の解析に使用することが可能です。
動的接触解析は、複数の接触点を持つシミュレーションモデルに使用することが可能です。 IntelliSuiteの強力なReduced-Order Macromodel出力機能は、Piezoelectricモデル、複数接触モデルのマクロモデルを生成することが可能です。
さらに、有限要素ソルバーは、より良い安定性と解析精度を保証するため、アップデートされました。

Total MEMS SolutionsTM

IntelliSenseは、革新的なCADツールであるIntelliSuiteファミリーとともに、1990年代の初めにMEMS産業へ参入しました。
そして現在、MEMSプロフェッショナルのための設計、開発ソリューションを牽引するイノベーターでありサプライヤーでもあります。
20年以上の継続開発により、IntelliSuiteは現在においてMEMSツールで最も幅広い機能有効性を誇り、また、解析拡張、安定、使い易さの優位性をとどめております。
世界35ヶ国以上のユーザーと共に、IntelliSuiteは、MEMSの業界標準ソフトウェアです。
さらに、IntelliSenseは世界各国の大学、企業に、MEMS設計コンサルティングサービスを提供します。

v8.7 その他の新機能:

  • MEMSレイアウトエディタBlueprintTMにおける新しいMEMS用描画機能の拡張
  • 新しいJob ManagerTM ユーティリティでは、ユーザーによる複数シミュレーションの効率的な実行が可能に
  • 新しいライブラリ要素は、SYNPLETMの等価回路シミュレーションでの、設計検索、最適化をより容易に
  • 新しいMesh ManipulatorTMユーティリティでは、Curved Mesh表面の生成と各種形式ファイルの入出力が可能に

MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite -動作環境

OSとハードウェアの推奨環境

CPU 1.6GHz以上
サポートしているオペレーティングシステム(OS) Microsoft Windows XP
Microsoft Windows 2000
Microsoft Windows Vista
上記OSの動作しているPC、PCワークステーション

また、Windowsネットワークによるネットワークライセンスも可能です。
RAMメモリ 2GB以上
ハードディスク空き容量 9GB
モニタ解像度 1280×1024以上
グラフィックカード 3D描画をサポートするグラフィックチップ 128MB以上
(ATI,NVIDIAグラフィックチップ)
64bit、マルチコアCPU、
高速データ転送ハードディスクドライブ推奨

MEMS用統合解析ソフトIntelliSuite -サービス

サービス

短期間のご利用にはレンタルもございます。
PCにインストールした状態で、ご提供させていただくことも可能です。

IntelliSense社のその他のサービス

IntelliSense社によるコンサルティング、試作サービス、量産サービスの利用
開発元のIntelliSense社は、全米で屈指の規模を誇るMEMS専用ファウンダリを保有し、加工精度に於いて賞賛されていました。
IntelliSense社はMEMSを専門に1991年から創業しており、設計、試作、量産のノウハウに関して大きく他社を凌駕しています。
このIntelliSense社のサービスでは、自身の開発によるIntelliSuiteRを使用した設計コンサルティングからパッケージング、検査工程まで含めた量産を行い、短期間に顧客の求めに応じたデバイス開発を短期間に達成し、顧客は、開発期間と開発コストの面で利益を得ております。
現在は、パートナー企業であるInfotonics社をはじめとするファウンダリと協力し、各種サービスを行っております。
これらのサービスを利用するときIntelliSuiteRユーザーは作成したモデルを使用することが可能です。 MEMSと技術的に隣接している光集積回路技術も保有しており、MOEMSにも対応です。
下図は、IntelliSense社の開発による導波路結合器の例。
その他、RFデバイス、光通信デバイス、バイオMEMS、センサーなど幅広く対応可能としております。