『有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム第36回定例会』にて講演を行います。
13：45～
タイトル：
『金属/シリコン/カスタム材料に対応するDry/Wetマルチエッチングシミュレータ』
講演では、MEMSに限らない、
複合プロセスによるDry/Wetエッチング形状予測シミュレーションへの対応。
物理解析と実測情報に基づいた、装置依存性に対応する解析手法。
カスタム対応によるエッチング対象材料の拡張。
について、デモンストレーションを交えながらご説明致します。
詳しくはコチラ
第36回定例会
■開催概要
| セミナー名 | ：有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム第36回定例会 |
| 開催日時 | ：2020年6月25日（木）13:30 |
| 開催方法 | ：オンライン会議システム（Zoom） |
| 詳細HP | ：https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/labintro/lithoconso/ |