デバイス構造設計

SYNPLEでは、ライブラリー内のMEMS構造要素を使用した、デバイス構造設計が可能です。（図 1）

（図 1）　SYNPLEウィンドウ

SYNPLEのモデル作成は、一般的な回路シミュレータと同様で、ライブラリーツリーからのドラッグアンドドロップ、ポートの結線で行われます。（図 2、図 3）



（図 2）　SYNPLEのモデル作成

（図 3）　SYNPLEの電気回路モデル例

同様に、MEMS構造要素を使用したモデルも作成可能です。（図 4）



（図 4）　片持ち梁解析モデル例

MEMSシステムモデルに対して定常解析、周波数応答解析、過渡解析を可能とし、長時間過渡状態の解析を必要とするコリオリ力の考慮などの短時間での高速計算も可能です。（図 5 、6、7、8、9）



（図 5） 周波数応答解析結果

（図 6） 梁のパラメトリック解析結果

（図 7）　過渡解析結果

（図 8）　3次元形状による結果表示

（図 9）　システムモデルから出力した2次元マスクデータ