機能

異方向エッチングシュミレーターAnisE -機能

IntelliSuite(R)のAnisEの位置づけ

機能

  • データの用意されているエッチャント KOH、TMAH
  • ウェハ バルクシリコン (100)、(110)
  • エッチ停止層を定義可能
  • 断面形状の観察が可能
  • 多段階のエッチングが可能
  • 高精度な解析が可能
  • VRML、DXF形式での3次元形状情報の出力機能
AVI形式での3次元エッチングアニメーション出力